ÀϺ», ±ÔÁ¦ ½ÇÀÍ ÀûÀº ¼ÒÀ縸 ½ÃÇѺΠÇã°¡¡¦¼ÓµµÁ¶Àý ¡®²Ä¼ö¡¯
³²Áö¿ø ±âÀÚ [email protected]
20ÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ µî¿¡ µû¸£¸é ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼ºÀº Áö³´Þ 1ÀÏ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñÀ¸·Î ÁöÁ¤Çß´ø ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀç Áß ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Áö³ 7ÀÏ¿¡ ÀÌ¾î µÎ ¹ø°·Î Çã¿ëÇß´Ù. À̹ø¿¡ ¼öÃâÀ» ½ÂÀÎÇÑ Á¦Ç°Àº »ï¼ºÀüÀÚ ÁÖ¹®À» ¹ÞÀº ÀϺ» JSR Á¦Ç°À¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
´çÃÊ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â Æ÷°ýÇã°¡¿¡¼ °³º°Çã°¡Á¦·Î ¹Ù²î¸é¼ ¼öÃâ½É»ç ±â°£ÀÌ 90ÀÏ·Î ´Ã¾ú´Âµ¥ À̺¸´Ù »¡¸® ¼öÃâÀÌ ½ÂÀÎµÈ °ÍÀÌ´Ù. KBÁõ±ÇÀº À̹ø Á¶Ä¡·Î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ »ç¿ëÇÒ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® 9°³¿ùÄ¡¸¦ È®º¸ÇßÀ» °Å¶ó°í ÃßÁ¤Çß´Ù.
ÀϺ»ÀÌ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °ñ¶ó ¼öÃâ ½ÂÀÎÀ» ³»ÁØ °ÍÀº Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ¿µÇâÀÌ Å©Áö ¾ÊÀº ¼ÒÀçÀÇ ¼öÃâ Çã°¡ »ç·Ê¸¦ ½×¾Æ ¡®¼öÃâ ±ÝÁö°¡ ¾Æ´Ï¶ó ¼öÃâ °ü¸®¡¯¶ó´Â ±âÁ¸ ¸íºÐÀ» °ÈÇÏ·Á´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ¿¡ ¿Ã¸° EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÇöÀç Çѱ¹ÀÇ ÁÖ·ÂÁ¦Ç°ÀÎ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼°¡ ¾Æ´Ï¶ó »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 2030³â±îÁö 133Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇϱâ·Î ÇÑ ¹Ì·¡ »ê¾÷ÀÎ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù.
¹®º´±â ¹«¿ªÇùȸ ¼ö¼®¿¬±¸¿øÀº ¡°Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹Ì·¡ ÁÖÃàÀÌ µÉ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀçÁö¸¸ Áö±Ý ´çÀåÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°ú´Â Å« °ü·ÃÀÌ ¾ø¾î ÀϺ» ÀÔÀå¿¡¼´Â ¼öÃâ±ÔÁ¦ÀÇ ½ÇÀÍÀÌ Á¦ÇÑÀûÀÎ ¼ÒÀ硱¶ó¸ç ¡°Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇØ ¼öÃâ ±ÝÁö°¡ ¾Æ´Ñ Àü·«¹°ÀÚ ¼öÃâ °ü¸® °È¶ó´Â ¸íºÐÀ» ì±â´Â µ¿½Ã¿¡ ÀÚ±¹ »ê¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¾Ç¿µÇâ ¿ì·Á, ¾ÇÈµÈ ±¹Á¦ ¿©·Ðµµ °í·ÁÇÑ À¯È Á¦½ºÃ³¸¦ ÃëÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸Àδ١±°í ¸»Çß´Ù.
½ÇÁ¦·Î ÀϺ»Àº ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ³Î¸® ¾²ÀÌ´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)¿¡ ´ëÇؼ´Â ¾ÆÁ÷±îÁö ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ÇÑ °Çµµ ³»ÁÖÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
ÀϺ»ÀÌ Áö±Ý±îÁö ¼öÃâ 2°ÇÀ» Çã°¡Çß´Ù°í Çؼ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¼ö±ÞÀÇ ºÒÈ®½Ç¼º ¹®Á¦°¡ ÇØ¼ÒµÈ °Íµµ ¾Æ´Ï´Ù. À̹ø¿¡´Â ½É»ç±â°£ ³»¿¡ ¼öÃâ Çã°¡°¡ ³ª¿ÔÁö¸¸ ¾ðÁ¦µçÁö ¼öÃâ Çã°¡¸¦ Áö¿¬½ÃÅ°°Å³ª ºÒÇãÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Ä«µå¸¦ ÀϺ»ÀÌ Áã°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. KBÁõ±ÇÀº ¡°µÎ ¹ø° ¼öÃâ Çã°¡´Â ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ÀÇ ¼ÓµµÁ¶Àý Ãø¸é¿¡¼´Â ±àÁ¤ÀûÀ¸·Î Æò°¡µÇÁö¸¸ 21ÀÏ ¿Ü±³Àå°üȸ´ã°ú 24ÀÏ ÇÑ¡¤ÀÏ ±º»çÁ¤º¸º¸È£ÇùÁ¤(GSOMIA) ¿¬ÀåÀ» ¾ÕµÐ »óÅ¿¡¼ ³ª¿Â Á¶Ä¡¶ó ºÒÈ®½Ç¼ºÀº ³²¾Æ ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÆǴܵȴ١±°í ºÐ¼®Çß´Ù.